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技術(shù)文章
  • 2025

    9-5

    STEM透射電鏡在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用

    透射電子顯微鏡和掃描透射電子顯微鏡是現(xiàn)代電子顯微學(xué)中非常重要的兩種技術(shù)。STEM透射電鏡結(jié)合了掃描電子顯微鏡和透射電子顯微鏡(TEM)的優(yōu)點(diǎn),在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用尤為廣泛,特別是在半導(dǎo)體材料、器件結(jié)構(gòu)以及缺陷分析等方面,具有重要的意義。以下是STEM透射電鏡在半導(dǎo)體領(lǐng)域的幾項(xiàng)關(guān)鍵應(yīng)用。一、半導(dǎo)體材料的微觀結(jié)構(gòu)表征半導(dǎo)體材料的微觀結(jié)構(gòu)對(duì)其性能至關(guān)重要。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,材料的晶體質(zhì)量、晶界、缺陷等都直接影響最終產(chǎn)品的性能。它能夠提供原子級(jí)別的分辨率,是研究半導(dǎo)體材料微觀結(jié)構(gòu)的理...
  • 2025

    8-21

    掃描透射電子顯微鏡(STEM)的原理與優(yōu)勢(shì)

    掃描透射電子顯微鏡(STEM)是一種融合透射電子顯微鏡(TEM)與掃描電子顯微鏡(SEM)技術(shù)的分析工具,其核心原理基于高能電子束與樣品的相互作用及逐點(diǎn)掃描成像機(jī)制。工作原理:STEM通過(guò)場(chǎng)發(fā)射電子槍產(chǎn)生高度聚焦的電子束,經(jīng)電磁透鏡系統(tǒng)會(huì)聚成原子尺度的電子探針。在掃描線圈控制下,電子探針在樣品表面進(jìn)行逐點(diǎn)光柵掃描。當(dāng)電子束穿透樣品時(shí),與原子發(fā)生彈性/非彈性散射,透射電子或散射電子被樣品下方的探測(cè)器接收。例如,環(huán)形暗場(chǎng)(ADF)探測(cè)器收集高角度散射電子,其信號(hào)強(qiáng)度與原子序數(shù)平方...
  • 2025

    8-16

    高分辨率掃描電鏡在生物樣品分析中的應(yīng)用

    高分辨率掃描電鏡在生物樣品分析中具有極為重要的應(yīng)用價(jià)值。它通過(guò)掃描電子束與樣品表面相互作用,提供高分辨率的表面形貌圖像,并能夠獲取樣品的組成、結(jié)構(gòu)及其功能特性。特別是在生物學(xué)、醫(yī)學(xué)以及生命科學(xué)領(lǐng)域,被廣泛應(yīng)用于觀察細(xì)胞、組織以及微觀生物結(jié)構(gòu)的細(xì)節(jié)。本文將討論高分辨率掃描電鏡在生物樣品分析中的應(yīng)用。一、細(xì)胞形態(tài)和表面結(jié)構(gòu)的觀察它能夠詳細(xì)觀察到細(xì)胞的形態(tài)、表面結(jié)構(gòu)以及細(xì)胞間的相互作用。例如,在觀察細(xì)胞表面時(shí),能夠清晰地揭示細(xì)胞膜的形態(tài)、細(xì)胞突起、微絨毛等微觀結(jié)構(gòu)。此外,還可以用于...
  • 2025

    8-13

    環(huán)境真空掃描電鏡的原理與技術(shù)優(yōu)勢(shì)

    環(huán)境真空掃描電鏡是一種結(jié)合掃描電子顯微鏡與環(huán)境控制技術(shù)的高分辨率顯微技術(shù),能夠在較寬的環(huán)境條件下進(jìn)行樣品的觀察和分析,特別適用于在傳統(tǒng)掃描電子顯微鏡無(wú)法有效操作的樣品,如水分較多、有氣體揮發(fā)或是需要特定氣氛的樣品。一、工作原理環(huán)境真空掃描電鏡的核心原理與傳統(tǒng)SEM類似,都是通過(guò)掃描電子束與樣品表面相互作用產(chǎn)生信號(hào),并通過(guò)這些信號(hào)獲取圖像。然而,最大的特點(diǎn)是在掃描過(guò)程中,樣品并不需要像傳統(tǒng)SEM一樣在高真空條件下操作,而是可以在一定的氣壓范圍內(nèi)進(jìn)行分析。為了實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn),它采用了...
  • 2025

    8-10

    透射掃描電子顯微鏡在納米科學(xué)中的應(yīng)用

    透射掃描電子顯微鏡是一種結(jié)合了透射電子顯微鏡和掃描電子顯微鏡優(yōu)點(diǎn)的高分辨率顯微技術(shù)。在納米科學(xué)研究中,憑借其超高的分辨率和能夠?qū)悠愤M(jìn)行多層次、多角度分析的能力,成為了重要的實(shí)驗(yàn)工具。本文將探討透射掃描電子顯微鏡在納米科學(xué)中的應(yīng)用。一、納米材料的結(jié)構(gòu)表征納米材料在納米科技中具有重要的應(yīng)用,如納米管、納米顆粒、量子點(diǎn)等。它能夠以很高的分辨率觀察到這些材料的結(jié)構(gòu)、尺寸、形態(tài)和排列。通過(guò)使用,可以詳細(xì)了解納米材料的形貌特征、缺陷、晶格結(jié)構(gòu)等,從而為其設(shè)計(jì)與優(yōu)化提供基礎(chǔ)數(shù)據(jù)。例如,可...
  • 2025

    8-7

    場(chǎng)發(fā)射電鏡的基本原理與技術(shù)特點(diǎn)

    場(chǎng)發(fā)射電鏡是一種應(yīng)用于高分辨率成像的電子顯微鏡。與傳統(tǒng)的掃描電子顯微鏡(SEM)不同,它使用場(chǎng)發(fā)射源作為電子束的發(fā)射源,能夠提供比熱發(fā)射電子槍更高的亮度和更小的電子束斑。一、基本原理場(chǎng)發(fā)射電鏡的工作原理基于場(chǎng)發(fā)射效應(yīng)。在高電場(chǎng)的作用下,電子從金屬表面被“拉出”,并加速形成電子束。電子束在電鏡中經(jīng)過(guò)透鏡系統(tǒng)的聚焦后,照射到樣品表面,掃描樣品并與其相互作用,產(chǎn)生二次電子、背散射電子和X射線等信號(hào),這些信號(hào)被探測(cè)器接收并轉(zhuǎn)化為圖像。其核心優(yōu)勢(shì)在于其電子源——場(chǎng)發(fā)射源,通常是冷場(chǎng)發(fā)射...
  • 2025

    7-21

    便攜式合金分析儀的工作原理:XRF與LIBS技術(shù)對(duì)比

    便攜式合金分析儀的核心技術(shù)以X射線熒光光譜(XRF)與激光誘導(dǎo)擊穿光譜(LIBS)為主,二者在原理、應(yīng)用場(chǎng)景及性能上存在顯著差異。XRF技術(shù)基于元素特征熒光效應(yīng),通過(guò)X射線管發(fā)射高能X射線激發(fā)樣品原子內(nèi)層電子,外層電子躍遷填補(bǔ)空位時(shí)釋放特定能量的二次X射線(熒光)。探測(cè)器捕獲熒光能量后,與內(nèi)置數(shù)據(jù)庫(kù)比對(duì)實(shí)現(xiàn)元素定性定量分析。該技術(shù)優(yōu)勢(shì)在于無(wú)損檢測(cè),無(wú)需樣品預(yù)處理,檢測(cè)范圍覆蓋鈦、釩等21種元素,精度達(dá)0.03%-0.5%。例如,奧林巴斯Axon系列采用硅漂移探測(cè)器(SDD)與...
  • 2025

    7-16

    FIB雙束電鏡在集成電路失效分析中的應(yīng)用

    FIB雙束電鏡是一種集成了聚焦離子束(FIB)和掃描電子顯微鏡(SEM)技術(shù)的復(fù)合型儀器。該儀器在集成電路(IC)失效分析中具有重要的應(yīng)用價(jià)值,能夠?qū)﹄娮釉?nèi)部的結(jié)構(gòu)和失效機(jī)理進(jìn)行深入的研究與分析。集成電路失效分析的核心任務(wù)是確定電路或芯片失效的根本原因,分析過(guò)程通常需要對(duì)芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)進(jìn)行深入剖析。FIB雙束電鏡在這一過(guò)程中提供了許多重要的技術(shù)支持,具體應(yīng)用如下:1、電路故障定位與剖析集成電路的故障通常由微小的物理?yè)p傷、連接斷裂、污染或過(guò)熱等原因引起。它能夠通過(guò)聚焦離子束對(duì)...
  • 2025

    7-13

    sem掃描電鏡在微觀結(jié)構(gòu)分析中的重要性

    sem掃描電鏡是一種利用電子束掃描樣品表面,通過(guò)探測(cè)二次電子或反射電子的信號(hào),生成高分辨率圖像的電子顯微鏡。與傳統(tǒng)的光學(xué)顯微鏡相比,它具有更高的放大倍率、更強(qiáng)的深度景深和更廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域,尤其在微觀結(jié)構(gòu)分析中展現(xiàn)出巨大的優(yōu)勢(shì)。sem掃描電鏡在微觀結(jié)構(gòu)分析中的重要性,主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:1、高分辨率與細(xì)節(jié)呈現(xiàn)最大的優(yōu)勢(shì)之一是其很高的分辨率,通常能夠達(dá)到納米級(jí)別,遠(yuǎn)高于傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的分辨率。通過(guò)掃描電子束,能夠呈現(xiàn)出樣品表面最細(xì)微的結(jié)構(gòu)細(xì)節(jié),例如微小的裂紋、孔隙、表面形貌、...
  • 2025

    7-11

    電鏡應(yīng)用|鋼中復(fù)雜氧化物-硫化物-氮化物夾雜物的自動(dòng)化SEM- EDS分析與相分析案例

    熔融鐵幾乎是一種通用溶劑,能夠輕松溶解鉻、鉬和鎢等金屬,從而制造各種有價(jià)值的合金。然而,這一特性也可能是一把雙刃劍,因?yàn)樵趯㈣F煉成鋼的過(guò)程中,必須謹(jǐn)慎控制氧、硫和氮等元素。這些輕元素在合金鋼中的溶解度較低,在精煉和熱軋過(guò)程中,容易形成不利的反應(yīng)產(chǎn)物(即夾雜物)。這些生成的氧化物、硫化物和氮化物的微小夾雜物無(wú)法通過(guò)簡(jiǎn)單的浮選去除,從而成為最終鋼材的永久組成部分,影響其機(jī)械性能和質(zhì)量。PART01背景簡(jiǎn)介生產(chǎn)鋼材的過(guò)程中涉及極高的溫度和高度氧化的環(huán)境。高爐-氧氣轉(zhuǎn)爐一體化工藝和電...
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